.png)
.jpg)
產(chǎn)品中心 > 潔凈厭氧高溫氣氛爐
.jpg "11(4).jpg")
潔凈厭氧高溫氣氛爐
晶圓制造過程中，對(duì)晶圓表面涂布的光刻膠（聚酰氬胺）進(jìn)行高溫固化處理。
◆最高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
◆程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式
◆快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
◆配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等
◆在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓！?br/> 氮?dú)饬髁砍！?過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝
◆最高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
◆程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式
◆快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
◆配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等
◆在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓！?br/> 氮?dú)饬髁砍！?過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝
規(guī)格：
溫度范圍：室溫＋30～360℃
潔凈度：100級(jí)（升溫/恒溫/降溫全程）
氧濃度：20ppm以下
高氣密性，采用磁傳動(dòng)送風(fēng)方式；
降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式；
上一個(gè)：
抽屜烘箱
下一個(gè)：
HTRB/HTGB高壓高溫反偏測試系統(tǒng)